富山高等専門学校

製品開発・社会貢献本部・イノベーションセンターInnovation Center for Cooperative Research

フォトリソグラフィ装置

型式

ミカサM-1S; MS-A100、 アズワン HP-1SA 

製作会社

ミカサ(株)、アズワン(株) 

スペック

マスクアライナ(405nm 水銀ランプ、マスク4インチ、試料3インチφ)、スピンコータ、ホットプレート 

設置場所

本郷キャンパス 共通ラボ3,暗室 

管理者

櫻井豊 

導入年

2011年(平成23年度)

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