富山高等専門学校

製品開発・社会貢献本部・イノベーションセンターInnovation Center for Cooperative Research

スパッタ装置

型式

KS-701KAM-TK-1 

製作会社

(株)ケーサイエンス 

スペック

3 インチ× 1、2 インチ× 2 マルチターゲットRF- マグネトロン、24mm 基板 

設置場所

本郷キャンパス 共通ラボ3 

管理者

櫻井豊 

導入年

2010年(平成22年度)

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